这家平板掩膜版小龙头突破半导体业务，已实现250nm制程节点半导

路维光电于8月31日、9月1日连续接待机构调研，半导体掩膜版是公司业务的主要发展方向之一，目前公司已实现250nm制程节点半导体掩膜版的量产，掌握180nm/150nm制程节点半导体掩膜版制造核心技术能力。公司募投项目会进一步将半导体掩膜版量产能力提升至130nm制程节点，并立足于自主研发、突破半导体掩膜版制造中的精度控制、缺陷控制等关键技术，将掌握的半导体掩膜版制作技术进一步推进至110nm/90nm/65nm等制程节点。

半导体掩膜版按具体应用领域分类为IC封装、IC器件、LED外延片、MEMS等。在前述领域，公司已与国内某些领先芯片公司及其配套供应商士兰微、晶方科技、华天科技、通富微电、三安光电、光迅科技等国内知名的下游半导体公司建立了长期、稳定的业务合作关系。

A股相关上市公司中，清溢光电是国内成立最早的平板显示、半导体芯片、触控、电路板等行业用掩膜版生产企业之一，同时也是中国最大的平板显示掩膜版企业之一。安集科技主营业务为关键半导体材料的研发和产业化，产品包括不同系列的化学机械抛光液和功能性湿电子化学品，打破了国外厂商对集成电路领域化学机械抛光液和部分功能性湿电子化学品的垄断。

风险提示：调研内容仅为机构与上市公司间的业务交流，不构成投研观点，信息以上市公司公告和分析师公开报告为准。